1. ホーム
  2. 電気的方法による高精度材料物性評価技術

電気的方法による高精度材料物性評価技術

概要 研究技術内容

・微少電流測定器やLCRメータ等の電気的測定技術を用いて、各種材料の基本的物性を高精度に評価す
る技術。
・対象とする部品や材料の系にそった等価回路を考案することで、各種物性パラメータを高精度に抽出可
能。

写真・図（要点説明）


活用方向

電子部品や素材を製造する業界

学科・研究者

学科名 電子システム工学科
分野 半導体薄膜材料
研究者 福田　幸夫
主研究テーマ ゲルマニウム基板上へのhigh-K絶縁膜の形成
主要キーワード 半導体薄膜、高誘電率絶縁膜、原子層堆積法、プラズマ援用技術