UV光源、UV応用装置、露光装置

世界の最先端産業に不可欠となっている「光」技術。
オーク製作所は、最先端の電子部品を製造する産業用途の光から除菌・洗浄・消臭など環境や持続可能（SDGｓ）な社会を実現する光まで、光の可能性・応用性をカタチにして提供できる企業です。
スマートエキシマランプは無水銀光源です。真空紫外線（VUV）発光や波長純度の高さ（単色性）はLEDでは不可能です。長年培ったランプ製造技術を駆使し、お客様に最適なカスタムメイドの光源をスピーディーに製品化します。
微細パターン用ダイレクト露光装置は従来ダイレクト露光では困難とされてきた超ファインピッチパターン要求に対応します。