ミストを用いたモノづくり

　ミスト化学気相成長（ミストCVD）法は、低コスト化・低エネルギー化を実現できる大気圧雰囲気下での結晶成長手法です。金属錯体を含む水溶液をミスト化して反応炉に輸送することにより、機能性薄膜を形成することができます。水溶液を原料に用いるため酸化物薄膜の製作を得意としますが、我々は窒化物薄膜など非酸化物薄膜の製作にも成功しています。
　また、水溶液をミスト化する技術を用い、薄膜表面処理技術や粉粒体生成技術などへの応用展開も図っています。