世界初ナノレベルのキズ欠陥を広視野高速で検出
分類NO: 6-017
概要
３Ｄ形状計測できるレーザ走査イメージャ
①干渉タイプを用いると５０nmの変化形状測定が可能です。
②キズや深い穴の欠陥も検出可能です。
③円筒面の形状計測やは画像取得も可能です。
画像ソフトで欠陥検出可能です。
①干渉タイプを用いると５０nmの変化形状測定が可能です。
②キズや深い穴の欠陥も検出可能です。
③円筒面の形状計測やは画像取得も可能です。
画像ソフトで欠陥検出可能です。
写真・図（要点説明）
企業概況
| 企業・団体名 | 株式会社 オプセル | 地域 | 長野県外 |
|---|---|---|---|
| 住所 | 〒331-0814 埼玉県さいたま市北区東大成町2-263-4 北原ビル4階B号室 |
電話・FAX | TEL: 048-788-4307 FAX: 048-788-4308 |
| 業種 | ホームページ | http://www.opcell.co.jp/ | |
| 代表メールアドレス | support@opcell.co.jp | ||
| 企業紹介 | |||
特記事項
| 特許取得・各種認証等取得状況 | 今までに出願した特許件数は２５件。レーザ走査イメージャ、直描画装置に使用されている。 |
|---|---|
| 提供できる価値及び応用分野 | レーザ走査イメージャの光学ヘッド部、光学ユニットを提供することにより、今まで出来なかった検査装置の開発が期待される。 |
| SDGｓへの取り組み 他 | 透明フィルム、サファイヤウエハ、セラミック、ガラス、蒸着膜、樹脂等の傷欠陥検査に実績あり。新技術として干渉縞を利用してナノレベルの測定が出来る装置の開発を行っている。 |