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高速レーザ走査で10μ以下の傷欠陥を自働検査

概要

レーザ走査イメージャの特長
①従来の顕微鏡やCCDカメラやラインセンサーの欠点を克服した新しい検査装置(照明装置が不要)
②広い観察領域(顕微鏡の100倍以上)と長いWDを持つ新開発専用走査レンズ(4種類)
③コントラストの高いレーザ共焦点方式光学ユニット
④レーザ共焦点光学系では初めてでのラスター走査方式
長く大きな画像で大面積の画像を取得できる、マルチスキャン機能搭載

写真・図(要点説明)


企業概況

企業・団体名 株式会社オプセル 地域 その他
業種 ホームページ http://www.opcell.co.jp/
企業紹介

特記事項

特許取得・各種認証等取得状況 今までに出願した特許件数は25件 レーザ走査イメージャ、直描画装置に使用されている。
提供できる価値及び応用分野 レーザ走査イメージャの光学ヘッド部、光学ユニットを提供することにより今まで出来なかった検査装置の開発が期待される。
医療分野参入(取引)実績 透明フィルム、サファイヤウエハ、セラミック、ガラス、蒸着膜、樹脂 等の傷欠陥検査に実績あり 新技術として干渉縞を利用してナノレベルの測定が出来る装置の開発を行っている。

 

 

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